1987年毕业于天津大学电力及自动化系。1993年3月在中国科学院研究生院获硕士学位。1993年4月至1996年8月在中国科学院电工研究所任助理研究员、永磁磁体研究组副组长。1996年9月至2002年在美国威斯康星大学麦迪逊分校电气与计算机工程系学习微电子与固态专业，获博士学位。2002年6月至2005年8月在美国康奈尔大学电气与计算机学院任博士后研究员。2005年9月任厦门大学萨本栋微机电研究中心副教授，2008年7月破格晋升为教授。研究方向微机电系统MEMS、微纳电子技术与应用电子技术，涉及可植入医学微器件、超声技术、微型手术器械、微能源技术、生物芯片技术、传感器制造与测量控制技术、射频电子技术、生物医学器件与装备等。目前主持承担了国家863项目、国家自然科学基金、福建省自然科学基金与重大科技项目等多项研究。

微机电系统MEMS、微纳电子技术与应用电子技术，涉及可植入医学微器件、超声技术、微型手术器械、微能源技术、生物芯片技术、传感器制造与测量控制技术、射频电子技术、生物医学器件与装备等。